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华海清科“用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备”专利公布

絕刀狂花

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发布时间:2025-01-20 21:24:01

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华海清科股份有限公司一项名为“用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备”的专利申请已于2024年12月13日公开,申请公布号为cn119115785a。

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华海清科“用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备”专利公布

该专利提出了一种用于晶圆加工的承载头和化学机械抛光设备。此承载头包含:承载头主体;位于承载头主体面向晶圆一侧的保持环,用于固定晶圆;以及一个防滑机构,该机构至少部分位于保持环内,并可轴向伸缩。当保持环接触抛光单元时,防滑机构会缩回保持环内;当保持环与抛光单元轴向分离时,防滑机构会从保持环伸出。该防滑机构采用耐腐蚀材料制成。这项技术方案有效防止晶圆滑落,降低晶圆破损风险,并确保防滑机构的有效性。

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