12月10日最新消息,asml不仅被禁止向中国出口尖端的euv光刻机,就连技术相对成熟的duv光刻机,如今也面临日益严苛的出口限制与审查。
据荷兰国家广播公司(NOS)披露,尽管ASML多次强调其销往中国芯片企业的设备均属“成熟制程技术”,不具备制造最先进芯片的能力,但部分国际分析机构仍持续表达忧虑,担心此类设备可能间接支撑中国在高端军事装备领域的技术突破与量产能力。
报道称,中国电子科技集团有限公司(CETC)旗下相关单位近期完成了对ASML DUV光刻机的采购。
该交易本身符合常规商业逻辑,但西方媒体却频频放大解读。NOS特别指出,CETC作为中央直属大型国有企业,长期承担我国航天运载系统、军用无人机、雷达及特种通信等关键装备的研发与制造任务,同时也涉足高性能军用集成电路的设计与生产。
此外,NOS还提及,ASML曾向深圳国际量子研究院交付了一整套DUV光刻机系统。值得注意的是,荷兰军事情报与安全局(MIVD)此前已就中国在量子计算、量子传感等前沿领域的快速进展发出过正式风险提示。
虽然ASML DUV光刻机的理论分辨率约为38nm,尚无法满足7nm及以下先进制程需求,但在当前全球高科技竞争加剧的大背景下,荷兰监管层仍对该类设备流向中国科研与工业体系保持高度敏感。
对此,ASML回应称,公司原则上不对具体客户订单细节置评,但重申所有出口至中国的光刻设备均不涉及最前沿工艺节点,仅为“非尖端、不可用于制造顶级芯片的既有技术”。
ASML进一步强调:“像ASML这样的设备供应商,并不具备独立评估某家中国芯片企业是否应纳入出口管制清单的专业权限与法定职责;相关国家安全层面的判定权,始终归属于各国政府主管部门。”

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