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发布时间：2025-01-19 08:08:19
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上海微电子装备（集团）股份有限公司近日获得一项名为“减振装置及半导体设备”的实用新型专利授权，授权公告号为cn222122116u，公告日为2024年12月6日，申请日为2023年12月29日。
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该专利技术属于半导体领域，设计了一种新型减振装置，并将其应用于半导体设备中。此装置包含至少三个空气弹簧组件和执行器组件。空气弹簧组件由垂向和水平空气弹簧构成，分别提供垂直和水平方向的支撑和减振；执行器组件则包含垂向和水平向直线电机，实现主动减振。 这种被动减振和主动减振的结合有效解决了半导体设备中振动敏感部件动态变化大、易受振动干扰的问题，以及传统减振元件仅能作用于特定窄频段振动且无法有效抑制低频振动的难题。
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